Hvad er fotolitografi?
Fotolitografi er en af de vigtige processer i produktionen af integrerede kredsløb (IC'er eller chips). Sig ganske enkelt, det er processen med at kopiere et kredsløbsmønster på et substrat ved at bruge fotomasken og fotoresisten.
Underlaget vil blive malet på siliciumdioxidisoleringslag og fotoresist. Fotoresisten kan let opløses med en fremkalder efter at være blevet udsat for UV-lys, efter dissolver og ætsning vil kredsløbsmønsteret blive efterladt på substratet.
Hvad er Photoresist? Hvorfor skal 500nm UV-bølgelængde blokere?
Fotoresist kombineres med harpiks, opløsningsmidler og tilsætningsstoffer. Det lysfølsomme område for fotoresist er 200nm-500nm. Derfor vil mange halvlederlaboratorier anvende gult lys, som blokerer for 500nm UV-bølgelængde for at forhindre, at fotoresistens overeksponerede eller for tidligt eksponerede situationer.
